近日，我院张乐院长率队参观访问江苏微迈思半导体科技有限公司，双方就半导体设备关键部件的技术创新、产业现状及未来合作方向进行了深入交流。
微迈思半导体是国内专业的半导体设备核心部件供应商，自2019年成立以来，始终专注于OLED、IC、LED等领域高端设备模块与零部件的研发与制造，致力于突破国外技术垄断。调研团队实地参观了公司的精密制造车间、研发测试平台及洁净生产区域，详细考察了其在线性/点蒸发源、工艺腔室、加热器、栅网、喷淋头、内衬等系列产品的设计、制造与品控流程。
在参观交流中，微迈思半导体负责人系统介绍了公司在技术创新与产品迭代方面的成果。其开发的蒸发源产品已成功适配多世代线，并通过结构创新与客制化设计，显著提升了镀膜性能与工艺适应性；其他核心部件产品亦在耐腐蚀性、温度均匀性、长期稳定性等关键指标上实现了对标与优化，部分产品已实现进口替代，获得了市场广泛认可。
张乐院长对微迈思半导体在短短数年内取得的自主研发成果和产业化进展表示赞赏。他指出，核心部件是半导体装备产业的基石，微迈思在细分领域的深耕与创新，对提升区域半导体产业链的自主可控能力具有积极意义。双方共同探讨了在高性能材料应用、部件设计优化、联合技术攻关等方面潜在的合作机遇。
本次参观访问加深了我院对半导体设备核心部件领域前沿技术与企业实践的理解，也为未来推动产学研协同创新、服务地方产业发展奠定了良好基础。